電子無塵車間工程的設(shè)計(jì)以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間、磁盤制造車間為代表的電子無塵車間工程設(shè)計(jì),不僅對(duì)顆粒物有嚴(yán)格的控制,而且對(duì)溫濕度控制和光照微震有更嚴(yán)格的要求,為了消除靜電對(duì)生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,使環(huán)境符合電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求,請(qǐng)?jiān)谇鍧嵉沫h(huán)境中使用。
電子無塵車間項(xiàng)目的溫濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝要求確定。當(dāng)生產(chǎn)工藝沒有具體要求時(shí),溫度可為20-26℃,相對(duì)濕度可為30%-70%。人員凈化室和客廳的溫度可為16-28℃。根據(jù)符合國際ISO標(biāo)準(zhǔn)的中國國家標(biāo)準(zhǔn)gb-50073,該類潔凈室的潔凈度等級(jí)為1-9級(jí),包括1-5級(jí),單向流或混流,風(fēng)速;6級(jí),非單向流,換氣50-60次/h;7級(jí),非單向流,換氣15-25次/h;8-9級(jí),非單向流,換氣10-15次/h。
根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范,電子制造廠萬級(jí)無塵車間工程噪聲級(jí):不大于65dB(a)。
1.垂直流潔凈室的全覆蓋率不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室的全覆蓋率不應(yīng)小于40%,否則為局部單向流。
2.電子制造廠無塵車間工程與室外的靜壓差不小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的靜壓差不小于5pa。
3.電子制造業(yè)萬級(jí)無塵車間新風(fēng)量取以下兩項(xiàng)值。
4.補(bǔ)償室內(nèi)排氣量和保持室內(nèi)正壓所需的新鮮空氣量之和。
5.確保潔凈室中每個(gè)人的新鮮空氣供應(yīng)量不低于每小時(shí)40平方米。